某半导鑫霖环保芯片精加工生产商在晶圆精加工进程中,适用硅烷对其进行硅外延性成长,空气洗涤剂塔造成高氨水浓度含硅电镀废污水。电镀废污水具备有pH变化大(2-11)、硅成分高的亮点,普通整理形式易存在硅垢堵死的问题。
化工废水材料及渠道
工业废水重要化学物质为:
溶水性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
盐酸/氢腐蚀钠
:洗衣机清洗塔酸碱性洗衣机清洗液无残留
顆粒硅
:微米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:化学原料溶物进入
正确处理方法程序流程
不断创新分为"两极中合+膜过滤清洁+多效蒸发析出"流程:
两级结合
:用CaO调节器pH至4-5,转换硅酸钙沉淀物中,硅快速清理率60%。
下级中合
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进三步悠长岁月中累计硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置设计
:0.02μm陶瓷厂家膜过滤系统奈米级硅颗料,通量安全在80LMH。
MVR多效冷却器
:溶缩高盐污废水 ,晶体出Na₂SO₄副物品,水使用率超90%。
既定成效
总硅从1500mg/L高于5mg/L以下的
砷分量从0.8mg/L高于0.01mg/L
装置无积垢行驶高达2年
第一年收集氢氧化钾钠结晶约800吨