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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导鑫霖环保芯片精加工生产商在晶圆精加工进程中,适用硅烷对其进行硅外延性成长,空气洗涤剂塔造成高氨水浓度含硅电镀废污水。电镀废污水具备有pH变化大(2-11)、硅成分高的亮点,普通整理形式易存在硅垢堵死的问题。 化工废水材料及渠道 工业废水重要化学物质为: 溶水性硅酸盐 :SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢腐蚀钠 :洗衣机清洗塔酸碱性洗衣机清洗液无残留 顆粒硅 :微米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :化学原料溶物进入 正确处理方法程序流程 不断创新分为"两极中合+膜过滤清洁+多效蒸发析出"流程: 两级结合 :用CaO调节器pH至4-5,转换硅酸钙沉淀物中,硅快速清理率60%。 下级中合 :加Na₂CO₃将pH升高至9,进三步悠长岁月中累计硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置设计 :0.02μm陶瓷厂家膜过滤系统奈米级硅颗料,通量安全在80LMH。 MVR多效冷却器 :溶缩高盐污废水 ,晶体出Na₂SO₄副物品,水使用率超90%。 既定成效 总硅从1500mg/L高于5mg/L以下的 砷分量从0.8mg/L高于0.01mg/L 装置无积垢行驶高达2年 第一年收集氢氧化钾钠结晶约800吨

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